線切割的變形與工件的結構有關。 窄長的凹模和凸模容易變形，變形的大小與形狀的復雜程度和長寬比有關； 壁薄的工件容易變形。

  如果變形很小，在加工所需的精度范圍內變形幾乎可以忽略不計。 但是，如果變形超過加工精度要求，就會造成尺寸的明顯偏差，影響工件的加工形狀。

  造成變形的原因有很多，比如材料問題、熱處理問題、結構設計問題、工藝安排、線切割時工件裝夾和切割路徑選擇問題等等。 這些各種原因都會引起材料內應力的變形。

  在中間線的線切割過程中可以適當調整工藝，使形狀和尺寸精度達到要求，并且免去了裝配前裝配工對懸點的打磨過程。 由于某些材料硬度高，切削厚度大，或工件太薄，加工速度慢，扭轉變形嚴重。 大部分形狀加工和預留連接部分（暫停點）的加工采用4種切割方式，兩部分切割的參數和偏移量（Offset）是一樣的。 將初次切割的電極絲（鉬絲）偏移量增加到0.15—0.18mm，充分釋放工件的內應力，完成扭轉變形。 在接下來的3次中會有足夠的余量進行精切削加工，從而可以調整工件的尺寸。